簡析氣體低溫冷凝泵的三大作用

　　低溫冷凝：氣體分子冷凝在冷板表面上或冷凝在已冷凝的氣體層上，其平衡壓力基本上等于冷凝物的蒸氣壓。抽空氣時，冷板溫度必須低于25K；抽氫時，冷板溫度更低。低溫冷凝抽氣冷凝層厚度可達10毫米左右。

　　低溫吸附：氣體分子以一個單分子層厚（厘米數量級）被吸附到涂在冷板上的吸附劑表面上。吸附的平衡壓力比相同溫度下的蒸氣壓力低得多。如在 20K時氫的蒸氣壓力等于大氣壓力，用 20K的活性炭吸氫時吸附平衡壓力則低于帕。這樣就可能在較高溫度下通過低溫吸附來進行抽氣。

　　低溫捕集：在抽氣溫度下不能冷凝的氣體分子，被不斷增長的可冷凝氣體層埋葬和吸附。

　　作為完整的抽氣系統，氣體低溫冷凝泵由兩部分組成，主體為真空泵體，第二部分為壓縮機?，F在得到廣泛應用的都是制冷機式低溫泵，其核心是低溫制冷機。

　　其工作基本流程為：氦氣首先被壓縮到高溫高壓狀態；再通過熱交換器被冷卻為常溫氦氣；經純化后的高純氦氣之后經汽缸完成絕熱膨脹，變成低溫氦氣。如此不斷循環，氦氣被不斷降溫，成為制冷介質-低溫氦氣。

　　氣體低溫冷凝泵可以獲得抽氣速率至大、至大壓力至低的清潔真空，廣泛應用于半導體和集成電路的研究和生產，以及分子束研究、真空鍍膜設備、真空表面分析儀器、離子注入機和空間模擬裝置等方面。