超低溫冷阱配套應用于Parylene鍍膜設備

在Parylene真空涂敷設備上，鍍膜腔體與真空泵之間，需要低溫捕集器。如下圖。

常見的低溫捕集器有以下3種方式：

1）液氮冷阱，是經濟的低溫捕集方式，簡單可靠，易于維護，費用低。但是液氮的供應受制約因素較多，另外在冷頭里灌注液氮，不太方便。

2）超低溫制冷機的冷頭，替換液氮冷阱，是常見的低溫捕集方式。優點是直接替代液氮方式，用戶容易理解和接受。缺點是冷頭與制冷機之間，有不可拆卸的低溫軟管，損失部分冷量，若是低溫狀態下移動制冷機，容易損壞軟管，造成制冷劑泄漏。與真空系統裝配，占用空間較多。

3）超低溫制冷機的冷阱，替換液氮冷阱，是更合理的低溫捕集方式。將液氮冷頭和真空罐一起去掉，從鍍膜腔體的真空接口，采用真空軟管，連接到超低溫冷阱的真空接口，然后連到真空泵。超低溫冷阱與超低溫冷頭相比，更加簡單可靠，安裝和維護更方便。

液氮冷頭作為低溫捕集器，捕集溫度低，維護簡單，但使用不便，常見于實驗室里。

在工業領域，常見的是采用超低溫制冷機作為低溫捕集器，溫度范圍在-80℃~-145℃，一般分為冷頭和冷阱兩種方式。

超低溫冷頭的方式，優點是直接替代液氮冷頭，也正好利用了原設計的液氮冷頭的附加真空罐。缺點是液氮冷頭或超低溫冷頭，法蘭接口都是非標，需要定制；超低溫冷頭的黑色連接軟管，保溫層相對不足，會損失一部分冷量，低溫時也比較脆弱、嚴禁移動。

超低溫冷阱的方式，不需要附加的真空罐，整機機構簡單。從鍍膜腔室，直接連接冷阱即可。不會有冷量的損失、堅固耐用；接口采用真空標準形式KF40或KF50，非常方便可靠，也是真空系統的常規設計方案。

下圖左邊是冷頭的方式，黑色的低溫連接管，低溫時比較脆弱，有冷量損失。

下圖右邊是冷阱的方式，真空連接比較簡單可靠，鍍膜腔室à冷阱à真空泵。

下邊的大圖，是選用臺式冷阱的設計示意圖（已批量應用）。

在超低溫領域，長流儀器(Coolium instruments)是一家的研發型企業，為客戶提供種類繁多的低溫產品。比如溫度為-50℃、-80℃、-110℃、-120℃、-135℃、-145℃的標準機型。同時也接受各種用戶需求的非標定制。

長流儀器VaporCold超低溫冷阱配套Parylene設備，已有超過15年的時間，配套的超低溫冷阱超過500臺，用戶分布在國內、東南亞、歐洲、北美等市場。

長流儀器服務于Parylene設備，有豐富的經驗和自信，可為用戶提供多種解決方案。下圖是長流儀器的部分機型圖片，包括超低溫冷頭、超低溫冷阱。

* 單壓縮機自復疊制冷技術，降溫快、溫度低、節能環保、性能可靠。

* 機型種類齊全，立式或臺式、冷頭或冷阱，便于用戶選擇配套。

* 冷頭或冷阱按真空標準進行設計、制造和測試，滿足真空技術要求。

* 在冷頭或冷阱的低溫表面，部分機型可選防腐蝕涂層，大大延遲使用壽命。

下邊是一些國內外的應用實例，冷阱形式各異，供大家對比和參考：