Polycold的拆裝你做好準備了嗎？

發布時間：2020-03-02 點擊次數：596

　　Polycold氣體低溫冷凝泵是利用低溫表面來凝聚氣體分子以實現抽氣的一種泵，是真空鍍膜設備目前獲得極限真空高，抽速至大的抽氣泵。冷凝泵是依靠制冷機獲取冷量，利用低溫表面冷凝和吸附氣體的物理過程來獲得和保持真空。它具有極限真空度高(可達10-8Pa)、清潔無油、對各種氣體都具有較大抽速等特點，同時它可以長期可靠運行，是分子泵、油擴散泵*的。因此在半導體器件的生產過程中，廣泛運用于蒸發、濺射、離子注入、分子束外延等工藝。

　　Polycold的拆卸過程及解決辦法：

　　1.拆下冷凝泵的電源線并做好標記；

　　2.拆下附線板和過濾網；

　　3.拆下水泵體與電機的連接螺母，使電機與水泵體分離，聯軸節沒有問題；

　　4.拆泵體，先用管鉗轉動鑄銅連接座(連接座與泵體為螺紋連接)，旋下連接座后，可直接取出一串離心泵葉片，其中間為一鑄銅支架，上、下各11片葉片，共計22片。用清水清洗，發現葉片軸孔磨損較大，無法修理，但還可使用。鑄銅支架內的電機軸套磨損嚴重，電機軸套與鑄銅支架的間隙大約為1mm。

　　對于這個過程中的問題首先要解決的是橫向擺動大的問題，重新配個電機軸套(與鑄銅支架內孔配做)，使電機軸套在鑄銅支架內壁剛好能轉動，減小間隙；再解決軸向竄動問題，與內六角電機軸配做內六角墊圈。

　　Polycold具體裝配過程：

　　按拆卸的先后順序，把配做好的電機軸套裝在鑄銅支架內；再依次將離心葉片通過電機軸分別裝在鑄銅支架兩端，每隔一個葉片墊上一個內六角墊圈，不能墊得過多，過多會使軸間無間隙；再裝入泵體內，旋緊鑄銅連接座，泵體裝配完畢；后，將泵體與電機裝配在一起，裝上過濾網和附線板，Polycold就裝修成功了。

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