用物理或化學的方法來降低氣體和蒸汽混合物中有害成分分壓的裝置叫
冷阱(捕集器)。
利用低溫冷壁來捕集可凝性蒸氣,一般安裝于主泵入口與真空室之間的管路上,可以有效捕集來自真空室內的可凝性蒸氣以及來自真空泵的返流蒸氣。效果主要取決于其結構以及所使用冷壁的溫度(溫度越低,效果越好)。
常用制冷劑有含冰鹽水、液氮、乙二醇等。在核化工中,是指在六氟化鈾生產過程中從含六氟化鈾、氟氣、氮氣、氧氣的混合氣體中冷凝收集六氟化鈾,使六氟化鈾與不凝氣(氟氣、氮氣等)分離的裝置。有內冷式和外冷式兩種,一般為間歇操作。
冷阱的結構根據材質可以分為玻璃的與金屬的。玻璃的一般用于小型的玻璃真空系統,根據冷劑的盛放方式又可分為外冷式與內冷式。金屬則一般用于大型的金屬真空系統,結構形式繁多,結構復雜,干式螺桿真空泵廠家不在此敘述。
在冷阱中,通常附帶設置有冷卻用流體的供給系統或超低溫制冷機等冷卻裝置,低溫板的表面被冷卻至超低溫。通常捕捉在低溫板表面的水分等的量越多排氣能力越降低,所以需要定期進行向外部排出被捕捉的水分等的再生處理。
該再生處理中,由于水分等從低溫板再氣化,所以通常用閥等從排氣對象切斷開冷阱,或者停止包括整個裝置的運行。當為前者時向真空度的不良影響令人擔憂,為后者時存在被安裝冷阱的裝置的利用率降低的可能性。
在真空應用中,為實現良好的捕集效果,在冷阱的選擇中,應當注意以下幾個方面:冷凝部位應具有較大的冷凝面積;結構為光學密閉,防止蒸氣分子直線通過;有盡可能大的流導;盡量少的冷劑消耗量;清洗拆裝方便等。